Nguồn hạt phát sinh ngay tại bộ cửa

Hạt có thể theo khí từ hành lang vào phòng hoặc phát sinh do ma sát bản lề, khóa, gioăng và ray dẫn hướng. Cánh cọ khung, lớp phủ bong hoặc phụ kiện mòn làm tăng nguy cơ phát tán vật liệu.

Bề mặt nhẵn, mép kín và liên kết ít hốc giúp giảm điểm tích bụi. Tại khu vực xử lý wafer và linh kiện chưa đóng gói, nguồn hạt ở lối đi được xem xét cùng yêu cầu về độ sạch không khí.

Phân biệt lớp sơn và khả năng tiêu tán điện tích

Bề mặt tích điện có thể hút hạt; hiện tượng phóng tĩnh điện (ESD) gây nguy cơ hư hỏng mạch hoặc linh kiện nhạy cảm. Hai cơ chế có tiêu chí đánh giá riêng.

Sơn tĩnh điện mô tả phương pháp phủ, chưa xác nhận lớp sơn có khả năng tiêu tán điện tích. Cánh thép hoặc inox là vật liệu dẫn điện nhưng không tự bảo đảm bộ cửa đáp ứng ESD. Điện trở bề mặt, vật liệu phủ và cách nối đất được đánh giá theo yêu cầu khu vực.

Tính liên tục điện của cánh và phụ kiện

Ở vị trí có nguy cơ ESD, thiết kế xem xét cánh, khung, tay nắm và bản lề như những bộ phận có thể tích điện hoặc tiếp xúc với người.

Lớp phủ cách điện, gioăng và mối ghép có thể làm gián đoạn liên kết giữa các chi tiết kim loại. Nối đất và liên kết đẳng thế được bố trí, kiểm tra theo cấu hình, không suy đoán từ vật liệu cánh. Yêu cầu tại cửa phối hợp với sàn ESD, giày và quy trình thao tác của công đoạn.

Tần suất ra vào đặt tải lên cơ cấu cửa

Ở tuyến nhân sự và vật tư, số chu kỳ vận hành quyết định yêu cầu độ bền bản lề, khóa, tay co và gioăng. Cửa mở quay phải giữ ổn định trục quay, tránh xệ cánh và bảo đảm khóa ăn khớp.

Với cửa trượt, ray dẫn hướng và bộ phận truyền động cần được kiểm tra để hạn chế mài mòn. Cửa tự động có thể giảm tiếp xúc tay, nhưng cảm biến và cơ cấu đóng phải vận hành an toàn khi xe đẩy đi qua. Kiểu cửa được chọn theo tần suất, khẩu độ và điều kiện bảo trì.

Mỗi lượt mở cửa làm thay đổi môi trường khí

Khi cửa mở, chênh áp qua ô cửa giảm, không khí trao đổi theo cân bằng lưu lượng và nhiễu động do người, xe. Rủi ro mang hạt qua ranh giới phụ thuộc thời gian mở, hướng khí và luồng di chuyển.

Airlock hoặc Interlock có thể được bố trí tại ranh giới phù hợp để kiểm soát trình tự. Cơ cấu tự đóng giảm tình trạng cửa bị bỏ mở, nhưng tốc độ đóng phải an toàn và tránh va đập tạo hạt.

Kiểm tra đồng thời hạt, ESD và chu kỳ

Nghiệm thu xem xét độ kín, độ ổn định sau nhiều chu kỳ, tình trạng gioăng và phụ kiện. Với yêu cầu ESD, kiểm tra điện trở hoặc tính liên tục nối đất tại các vị trí thiết kế chỉ định.

Tại công đoạn nhạy nhiễm bẩn, đo hạt và quan sát dòng khí trong điều kiện vận hành đại diện giúp đánh giá tác động lối đi. Bảo trì chú trọng mòn phụ kiện, lớp phủ hư hỏng và tiếp xúc điện suy giảm.

Giải pháp cửa phòng sạch tại Vietnam Cleanroom

Tại Vietnam Cleanroom, chúng tôi cung cấp cửa thép, cửa panel phòng sạch và phụ kiện gioăng làm kín, tay co thủy lực, ô kính quan sát, Interlock theo cấu hình công trình.

Chúng tôi tư vấn loại cửa theo độ nhạy với hạt, tần suất ra vào và yêu cầu ESD. Đặc tính điện của bề mặt, phụ kiện và phương án nối đất được xác định riêng trong hồ sơ; không mặc định mọi bộ cửa đều chống tĩnh điện.

Câu hỏi thường gặp (FAQs)

1. Cửa sơn tĩnh điện có sẵn tính năng ESD?

Không. Tính năng tiêu tán điện tích phải có thông số và kết quả kiểm tra.

2. Cửa inox có cần nối đất?

Nếu thuộc phạm vi kiểm soát ESD, đường dẫn điện phải được đánh giá.

3. Cửa tự động có ít phát sinh hạt hơn?

Phụ thuộc cơ cấu, mức mài mòn và bảo trì.

4. Ra vào nhiều có làm giảm độ kín?

Gioăng và phụ kiện mòn có thể làm độ kín suy giảm.

5. Nghiệm thu cửa bán dẫn ưu tiên gì?

Độ kín, phát sinh hạt, ESD và độ bền qua chu kỳ.